由激光二极管发射的激光束照射到被测物体的表面。反射光通过一组透镜投射到光敏元件矩阵上，光敏元件可以是CCD/CMOS或PSD元件。反射光的强度取决于被测物体的表面特征。因此，需要调整模拟分量PSD的灵敏度。对于数字元件CCD 传感器，利用德国Miiridium 公司提供的实时表面补光技术，可以瞬间改变接收到的光强。传感器探头与被测物体之间的距离可以通过三角计算精确得到。
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