mems压力传感器芯片,MEMS压阻式压力传感器技术研究

目前呼吸机仍然是临床医学中最有效的手动替代独立通气功能的手段，而压力 传感器，作为呼吸机的关键设备，在呼吸机中发挥着重要的作用，之前在该领域使用压力 ，这几年国内优秀厂商都下了很大功夫。我所知道的是北京智信传感器有自主研发生产的ZXP6差压气体系列-3传感器核心是MEMS-3传感器和特殊调理。压力的量程为0 ~ 100 kPa(可定制)，工作电压为5±0.25 VDC，整个温度范围(40℃ ~ 125℃)运行良好，测量精度可达1% fs，可用于对标国外同类别产品，实现国产替代。

压力传感器它在呼吸机中的应用已有近30年的历史，已经成为呼吸机气路系统的关键部件。这种微差压气体压力 传感器产品在北京是知道的。信号调理芯片可以对MEMS压阻内核的温度线性度、零偏置和灵敏度进行数字补偿，信号调理电路包括一个24位σ-δADC，可确保压力信号的高精度输出。

随便抄一点:网上随便搜一下就是很多这种信息。各种传感器安全气囊、轮胎的监测和车辆稳定性控制系统压力可以提高汽车的性能和舒适性，同时增强安全性。“未来几年，汽车生产将快速复苏，MEMS 传感器的收入也将强劲增长，”HIS的MEMS和传感器高级分析师RichardDixon表示。2011年经济衰退今年受3月日本地震影响，汽车MEMS 传感器市场将放缓。

然而，与2009年相比，去年的销售额强劲增长了28%。2011年汽车MEMS 传感器出货量增速也不温不火，预计增速仅为9%至7.507亿，去年为36%。“据估计，日本3月份的地震将使汽车产量减少约200万辆，因此今年整个汽车制造供应链都遭受了损失，”RichardDixon说。“虽然2011年汽车生产将部分恢复，但如果每辆汽车使用10个MEMS 传感器的全球平均值，汽车生产的损失可能导致今年传感器出货量减少约2000万件。

当我们使用咖啡机时，需要控制水箱中的水位。通常是检测低水位报警提醒用户加水防止机器干烧，避免冲咖啡过程中突然缺水，或者检测高水位报警，主要是防止水溢出水箱造成事故。此时需要通过-3传感器来控制水箱的水位。北京智信传感技术有限公司自主研发生产的ZXP4系列防水型压力 传感器能够快速准确的检测液位，其核心是MEMS压力/和特殊调理。

某品牌。采用MEMS工艺制造压力 传感器，MEMS是微电子机械系统的缩写。MEMS是个美国名字，日本叫微力学，欧洲叫微系统，是指能够批量生产，集微机构、微传感器、微致动器、信号处理与控制电路、接口、通信、电源于一体的微型器件或系统。